第13回 イブニングセミナー
− 半導体フォトレジスト材料分野のホットな話題 −

化学工学会関東支部では、新聞、雑誌、ニュース等で最近注目されているホットな技術をその分野に詳しい技術者或いは先生に平易に解説していただき、理解を深めるセミナーを開催しております。本セミナーの特徴は気軽に参加できるように「夕方開催」としています。また話題を限定するために「講演者お一人による話題提供」と更に理解を深めていただくために講演後「講演者との交流会」の時間を設けています。
今回は出光興産株式会社 吉留俊英氏を講師に招き、半導体フォトレジスト材料分野等のホットな話題（研究動向や今後の展望）を提供していただきます。

主 催 （社）化学工学会関東支部
協 賛　 化学工学会エレクトロニクス部会、(社)日本化学会、光化学会、電気化学会、触媒学会、
(社)石油学会
日 時 2008年1月30日（水） 16:00〜18:00
会 場 東京理科大学 森戸記念館 http://www.sut.ac.jp/info/setubi/morito.html
講演会；1F第二フォーラム 、 交流会；２Ｆ第一会議室
〒162-0825 東京都新宿区神楽坂 4-2-2 （TEL 03-3260-4271）
募集人員 50名
プログラム
１．開会の挨拶 （16:00〜16:05）
２．半導体製造用フォトレジスト材料を中心とした出光の取り組み （16:05〜17:05）
出光興産株式会社 吉留 俊英 氏
半導体製造時の微細加工技術は急速に進んでおり現在はパターン幅45nmまでに達している。今後、更に高性能なフォトレジスト材料の開発により微細化技術が進展すると考える。本分野の開発動向や材料の一つであるアダマンタン誘導体の取り組み及びフォトレジスト材料分野以外の取り組みを紹介する。また原料であるアダマンタンを世界初の固体酸触媒の開発により実用化した例を紹介する。
３．講演者との交流会（17:05〜18:00）

参加費 正会員 4,000円、学生会員 2,000円、
化学工学会の維持・特別会員の社員の方 4,000円、会員外 6,000円 です。
尚、それぞれの参加費にはテキスト代と消費税が含まれます。
申込方法 申込書に所定事項を記入してメール又はFAXにて下記までお申し込みください。
尚、請求書をご希望の方は「請求書要」と明記してください。
申込先 〒112-0006 東京都文京区小日向4-6-19共立会館内 （社）化学工学関東支部
TEL ; 03-3943-3527 、FAX ; 03-3943-3530 、E-mail ; scej-kt@red.an.egg.or.jp
支払方法 受付後、参加証と共にお送りする振替用紙にて事前にお振り込みください。当日、会場での現金払いも可能です。当日になってのキャンセルの場合は参加費を請求させていただきます。